Διεργασίες κατασκευής μικρο- και νανο συστημάτων
Γενικά στοιχεία
Περιγραφή
- Εισαγωγή στην μικροηλεκτρονική τεχνολογία ημιαγωγών της ομάδας ΙV.
- Διαδικασία και υλικά λιθογραφίας (οπτική, ηλεκτρονικής δέσμης)
- Εγχάραξη με πλάσμα (φυσική πλάσματος, χημικές αντιδράσεις στην επιφάνεια)
- Θερμική οξείδωση και οξυνιτριδίωση
- Ιοντική εμφύτευση και διάχυση προσμίξεων
- Μέθοδοι ανάπτυξης λεπτών υμενίων (θερμική εξάχνωση, χημική εναπόθεση απο ατμούς)
- Τεχνολογία διασύνδεσης ηλεκτρονικών διατάξεων (back-end)
Mέθοδοι αξιολόγησης
Γραπτές εξετάσεις με θέματα που δίνονται και από τους τρεις διδάσκοντες. Επιπλέον κατ’ οίκον επίλυση προβλημάτων με παράδοση εντός προθεσμίας (20%).
Διδάσκοντες
Ε. Γογγολίδης, Διευθυντής Ερευνών, ΙΜΗΛ, ΕΚΕΦΕ «Δ»
Δ. Δαβάζογλου, Διευθυντής Ερευνών, ΙΜΗΛ, ΕΚΕΦΕ «Δ»
Α. Νασιοπούλου, Διευθύντρια Ερευνών, ΙΜΗΛ, ΕΚΕΦΕ «Δ»
Δ. Δαβάζογλου, Διευθυντής Ερευνών, ΙΜΗΛ, ΕΚΕΦΕ «Δ»
Α. Νασιοπούλου, Διευθύντρια Ερευνών, ΙΜΗΛ, ΕΚΕΦΕ «Δ»
Στόχοι Μαθήματος
- Η εξοικείωση των φοιτητών με τις διάφορες διαδικασίες κατασκευής μικρο και νανοσυστημάτων (μικροηλεκτρονικών αλλά και μικρο-ηλεκτρο-μηχανολογικών διατάξεων) χρησιμοποιώντας την λιθογραφική προσέγγιση (top-down).
-
Μετά την ολοκλήρωση του μαθήματος οι φοιτητές αναμένεται να γνωρίζουν:
· Τις φυσικοχημικές διεργασίες κατασκευής ολοκληρωμένων μικροσυστημάτων έτσι ώστε να μπορούν να αντιληφθούν θέματα που σχετίζονται με την αρχιτεκτονική μικροηλεκτρονικών διατάξεων και αισθητήρων.