ΚΕΦΑΛΑΙΟ 1 : Οι αισθητήρες και η μετεξέλιξή τους σε ολοκληρωμένα μικροσυστήματα
Σκοπός του κεφαλαίου αυτού είναι αφενός μέν μία σύντομη περιγραφή της τεχνολογικής περιοχής των μικροαισθητήρων, αφετέρου δέ ο συσχετισμός της με την συγγενή τεχνολογία των ολοκληρωμένων κυκλωμάτων.
ΚΕΦΑΛΑΙΟ 2 Φυσικές αρχές αισθητήρων
Το κεφάλαιο αυτό εξετάζει διάφορα φυσικά φαινόμενα τα οποία χρησιμοποιούνται σε ευρεία κλίμακα για την μετατροπή ενός διεγείροντος σήματος σε ηλεκτρικό σήμα το οποίο είμαστε στην συνέχεια ικανοί να επεξεργασθούμε με ηλεκτρονικά κυκλώματα.
ΚΕΦΑΛΑΙΟ 3: ΔΙΑΔΙΚΑΣΙΕΣ ΚΑΤΑΣΚΕΥΗΣ ΜΙΚΡΟΗΛΕΚΤΡΟΝΙΚΩΝ ΚΑΙ ΜΙΚΡΟΜΗΧΑΝΙΚΩΝ ΔΙΑΤΑΞΕΩΝ
Σκοπός του παρόντος κεφαλαίου είναι να παρουσιάσει τις βασικές τεχνολογικές διαδικασίες που χρησιμοποιούνται στην κατασκευή των μικροηλεκτρομηχανικών συστημάτων. Θεωρώντας ότι έχουν διδαχθεί στο μάθημα ‘Διεργασίες κατασκευής μικρο-νανοσυστημάτων’ οι διαδικασίες κατασκευής ηλεκτρονικών διατάξεων θα δοθεί έμφαση στις διεργασίες κατασκευής που αφορούν τα μικρομηχανικά συστήματα.
ΚΕΦΑΛΑΙΟ 4 : ΔΙΑΤΑΞΕΙΣ ΦΥΣΙΚΟ/ΧΗΜΙΚΩΝ ΑΙΣΘΗΤΗΡΩΝ
Σκοπός του παρόντος κεφαλαίου είναι να δώσει παραδείγματα αισθητήρων που αφορούν την μέτρηση φυσικών μεγεθών όπως η θερμοκρασία, η πίεση, η επιτάχυνση καθώς και χημικών παραμάτρων (ανίχνευση ουσιών).
ΚΕΦΑΛΑΙΟ 5: ΑΙΣΘΗΤΗΡΕΣ ΦΩΤΟΣ
Σκοπός του παρόντος κεφαλαίου είναι να δώσει παραδείγματα αισθητήρων που είναι κατάλληλοι για μετρήσεις οπτικών ακτινοβολιών που εκτείνονται από υπέρυθρη ως την υπεριώδη περιοχή με έμφαση είτε στην μέτρηση του φωτός αυτού είτε στην μέτρηση, μέσω αισθητήρων φωτός, άλλων φυσικών μεγεθών, όπως πίεση, θερμοκρασία, μηχανική τάση κλπ.
ΚΕΦΑΛΑΙΟ 6: ΑΙΣΘΗΤΗΡΕΣ ΑΚΤΙΝΟΒΟΛΙΑΣ DUV,
AKTINΩΝ-Χ, AKTINΩΝ-γ ΚΑΙ ΣΩΜΑΤΙΔΙΩΝ
Σκοπός του παρόντος κεφαλαίου είναι να επιτρέψει την κατανόηση των αρχών λειτουργίας αισθητήρων υπεριώδους ακτινοβολίας κενού, και ακτίνων-X που βρίσκουν εφαρμογή σε παραγωγή διατάξεων νανοτεχνολογίας μέσω της αντίστοιχης λιθογραφίας, όπως και σε φασματοσκοπικές διατάξεις . Εξ άλλου, μέσω αισθητήρων ακτίνων-γ και στοιχειωδών σωματιδίων μπορούν να προκύψουν διατάξεις ιατρικής απεικόνισης με ολοένα καλύτερη διακριτική ικανότητα.
