Είσοδος

Διεργασίες κατασκευής μικρο- και νανο συστημάτων

Γενικά στοιχεία

 

 
Περιγραφή

  • Εισαγωγή στην μικροηλεκτρονική τεχνολογία ημιαγωγών της ομάδας ΙV.
  • Διαδικασία και υλικά λιθογραφίας (οπτική, ηλεκτρονικής δέσμης)
  • Εγχάραξη με πλάσμα (φυσική πλάσματος, χημικές αντιδράσεις στην επιφάνεια)
  • Θερμική οξείδωση και οξυνιτριδίωση
  • Ιοντική εμφύτευση και διάχυση προσμίξεων
  • Μέθοδοι ανάπτυξης λεπτών υμενίων (θερμική εξάχνωση, χημική εναπόθεση απο ατμούς)
  • Τεχνολογία διασύνδεσης ηλεκτρονικών διατάξεων (back-end)

Mέθοδοι αξιολόγησης

Γραπτές εξετάσεις με θέματα που δίνονται και από τους τρεις διδάσκοντες. Επιπλέον κατΆ οίκον επίλυση προβλημάτων με παράδοση εντός προθεσμίας (20%).

Διδάσκοντες

Ε. Γογγολίδης, Διευθυντής Ερευνών, ΙΜΗΛ, ΕΚΕΦΕ «Δ»
Δ. Δαβάζογλου, Διευθυντής Ερευνών, ΙΜΗΛ, ΕΚΕΦΕ «Δ»
Α. Νασιοπούλου, Διευθύντρια Ερευνών, ΙΜΗΛ, ΕΚΕΦΕ «Δ»

Στόχοι Μαθήματος

  • Η εξοικείωση των φοιτητών με τις διάφορες διαδικασίες κατασκευής μικρο και νανοσυστημάτων (μικροηλεκτρονικών αλλά και μικρο-ηλεκτρο-μηχανολογικών διατάξεων) χρησιμοποιώντας την λιθογραφική προσέγγιση (top-down).
  • Μετά την ολοκλήρωση του μαθήματος οι φοιτητές αναμένεται να γνωρίζουν:

    ·         Τις φυσικοχημικές διεργασίες κατασκευής ολοκληρωμένων μικροσυστημάτων έτσι ώστε να μπορούν να αντιληφθούν θέματα που σχετίζονται με την αρχιτεκτονική μικροηλεκτρονικών διατάξεων και αισθητήρων.


 
Συγχρηματοδότηση
από την Ε.Ε.